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In-plane 衍射

  In-plane衍射对于薄膜表征非常重要。如配置Bragg-Brentano标准测角仪,用于测量平行于样品表面的晶面,X射线穿透样品到一定深度,产生衍射;而若样品层太薄,X射线则完全透过样品而不产生衍射。这种情况下,应使用in-plane衍射。 In-plane衍射具有以下两个特点: 
1.光束穿透深度有限,约100 nm。
2.该技术测量几乎垂直样品表面的晶面,是其他技术无法达到的。

 

系统
  • 自动 in-plane XRD: SmartLab®

  • 高性能in-plane XRD: Ultima IV

  • 18 kW θ/θ XRD: TTRAX III

 

XRD